Компания IBM выпустила первый микропроцессор с использованием иммерсионных технологий. Первым «иммерсионным» микропроцессором стал 64-разрядный чип Power 4, выпущенный в лаборатории Albany Nanotech с использованием иммерсионного сканера Twinscan AT:1150i производства ASML. Как сообщает Siliconstrategies, созданные в Albany Nanotech 300-мм полупроводниковые пластины успешно прошли дальнейшую обработку на заводе в East Fishkill – на основной производственной базе IBM. Однако, по мнению экспертов Silicon Strategies, говорить о коммерческом внедрении иммерсионной технологии преждевременно, так как Twinscan AT:1150i не является производственным инструментом, а лишь прототипом, созданным ASML для тестирования технологии.